Acequip 模拟型（0-5V）质量流量控制器
A1-FCRANCV/A1-FCRAVCV
产品描述
一款专门体现质量流量控制器基本功能的模拟产品，采用优化的技术设计提高了性能和可靠性。是工业设备的性价比之选。
特征
可用流量满量程范围从10 sccm（毫升每分钟）至30 slpm（升每分钟）
两种类型的控制电源，双电源（±15VDC）或者宽电压（+12~+32VDC）
接头底座一体化设计，任意方向安装。
启动时流量过冲的抑制。
输入输出信号：模拟(0～5VDC)
泄露率：Max 1x10-9Pa.m3/sec (He)
性能参数
型号 | A1 |
满量程流量可选 (N2 换算) | 10 SCCM – 30 SLM |
响应时间 | ≤1.5 秒 |
精度 | ≤ ±1%满量程流量 |
线性 | ≤ 满量程的±0.5% |
重复性 | ≤ 满量程的±0.1% |
工作压差 | 0.05 - 0.28 MPa |
泄漏率 | Max 1x10-9Pa.m3/sec (He) |
控制范围 | 满量程的 2-100% F.S. |
最大操作压差 | 0.48 MPa |
最大耐压 | 1 MPa |
使用温度 | 5-45 Deg C |
机械配置
阀门类型 | 常闭/常开 电磁阀 |
接头 | 1/4"VCR or 1/4" Swagelok 兼容 |
密封类型 | 橡胶密封 |
安装方向 | 任意 |
材料 | SUS316L， 氟橡胶， PTFE， 电磁不锈钢 |
表面处理 | ≤5RA |
重量 | appr. 0.8 KG |
电气参数
模拟设定电压 | DC 0-5V |
模拟输出电压 | DC 0-5V |
电源 | ±15VDC | +15VDC ±2% 25mA |
-15VDC ±2% 180mA |
+12VDC-+32VDC | +12VDC 500mA - +32VDC 180mA |
功耗 | ±15VDC | 3.1W |
+12VDC- +32VDC | 6W |
模拟接口 | 9Pin D-sub Male |
数字接口 | RJ11*2 |
Acequip 模拟型（0-5V）质量流量控制器 MFC尺寸图
A1-FCRANCV-E4S/A1-FCRAVCV-E4S (1/4”LOK)
Acequip MFC A1-FCRANCV-E4V/A1-FCRAVCV-E4V (1/4”M.VCR)
Acequip MFC A1-FCRANCV-G6S/A1-FCRAVCV-G6S (6mm LOK)
