Acequip 带显示数字型（RS-485）质量流量控制器 MFC/MFM
A2-FCRRMCS/A2-FCRRWCS/A2-FMRRMS/A2-FMRRWS
产品描述
一款高性能带显示数字型(RS-485)质量流量控制器产品，顶部配置数显界面，可进行数据读取和设置。
特征
可用流量满量程范围从2 sccm（毫升每分钟）至50 slpm（升每分钟）
两种类型的控制电源，双电源（±15VDC）或者宽电压（+12~+32VDC）
RS-485数字通讯接口，同时支持ASCII通讯协议和Modbus RTU协议。
模拟输入输出信号：0～5VDC。
泄露率：Max 1x10-9Pa.m3/sec (He)
可配置选项：
可配置多气体/多量程功能。
可选择金属密封/全金属密封型号。
支持MFC/MFM型号订购。
性能参数
型号 | A2 |
满量程流量可选 (N2 换算) | 2 SCCM – 50 SLM |
响应时间 | ≤ 0.8 秒 |
精度 | ≥25% F.S. ：≤±1% S.P. |
＜25% F.S. ：≤± 0.25% F.S. |
线性 | ≤ 满量程流量的±0.5%（30SLM以上≤1%） |
重复性 | ≤ 满量程的±0.1% |
工作压差 | 2 SCCM – 5 SLM：0.05 - 0.28 MPa |
6 SLM – 50 SLM：0.1 – 0.28 MPa |
泄漏率 | 橡胶密封：Max 1x10-9Pa.m3/sec (He) |
金属密封：Max 1x10-9Pa.m3/sec (He) |
控制范围 | 单一气体：满量程的 2-100% F.S. |
多气体多量程：满量程的 5-100% F.S. |
Max操作压差 | 0.48 MPa |
Max耐压 | 1 MPa |
使用温度 | 5-45 Deg C |
机械配置
阀门类型 | 常闭/常开 电磁阀 |
接头 | 1/4"VCR or 1/4" Swagelok 兼容 |
密封类型 | 橡胶密封/金属密封 |
安装方向 | 任意 |
材料 | 橡胶密封：SUS316L， 氟橡胶， PTFE， 电磁不锈钢 |
金属密封：SUS316L， Ni， PTFE， 电磁不锈钢 |
全金属密封：SUS316L， Ni， 电磁不锈钢 |
表面处理 | ≤5RA |
重量 | appr. 0.8 KG |
电气参数
模拟设定电压 | DC 0-5V |
模拟输出电压 | DC 0-5V |
电源 | ±15VDC | +15VDC ±2% 25mA |
-15VDC ±2% 180mA |
+12VDC-+32VDC | +12VDC 500mA - +32VDC 180mA |
功耗 | ±15VDC | 3.1W |
+12VDC- +32VDC | 6W |
模拟接口 | 9Pin D-sub Male |
数字接口 | 6-Pin RJ-11 * 2 |
Acequip 带显示数字型（RS-485）质量流量控制器 MFC/MFM
A2-FCRRMCS-E4S/A2-FCRRWCS-E4S/A2-FMRRMS-E4S/A2-FMRRWS-E4S (1/4”LOK)
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A2-FCRRMCS-IGW/A2-FCRRWCS-IGW/A2-FMRRMS-IGW/A2-FMRRWS-IGW (IGS 1.125"W-SEAL)
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A2-FCRRMCS-E4V/A2-FCRRWCS-E4V/A2-FMRRMS-E4V/A2-FMRRWS-E4V(1/4”M.VCR)
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A2-FCRRMCS/A2-FCRRWCS/A2-FMRRMS/A2-FMRRWS
