产品描述
一款高性能微小流量(2SCCM)质量流量控制器产品，支持最小满量程2SCCM(N2相对量)定制，实现最低满量程1%稳定、精准控制。特别适用于小量程应用，如分析仪器等。
特征
可用流量满量程最低2 sccm（毫升每分钟）。
两种类型的控制电源，双电源（±15VDC）或者宽电压（+12~+32VDC）。
RS-485数字通讯接口，同时支持ASCII通讯协议和Modbus RTU协议。
模拟输入输出信号：0～5VDC。
橡胶密封泄露率：Max 1x10-9Pa.m3/sec (He)；金属密封泄露率：Max 1x10-11Pa.m3/sec (He)
可配置选项：
可配置多气体/多量程功能。
可选择金属密封/全金属密封型号。
支持MFC/MFM型号订购。
性能参数
型号 | A2 |
满量程流量可选 (N2 换算) | 2 SCCM – 10 SCCM |
响应时间 | ≤ 0.8 秒 |
精度 | ≥25% F.S. ：≤±1% S.P. |
＜25% F.S. ：≤± 0.25% F.S. |
线性 | ≤ 满量程流量的±0.5% |
重复性 | ≤ 满量程的±0.1% |
工作压差 | 2 SCCM – 10 SCCM：0.05 - 0.28 MPa |
泄漏率 | 橡胶密封：Max 1x10-9Pa.m3/sec (He) |
金属密封：Max 1x10-11Pa.m3/sec (He) |
控制范围 | 单一气体：满量程的 2-100% F.S. |
多气体多量程：满量程的 5-100% F.S. |
Max操作压差 | 0.48 MPa |
Max耐压 | 1 MPa |
使用温度 | 5-45 Deg C |
机械配置
阀门类型 | 常闭/常开 电磁阀 |
接头 | 1/4"VCR or 1/4" Swagelok 兼容 |
密封类型 | 橡胶密封/金属密封 |
安装方向 | 任意 |
材料 | 橡胶密封：SUS316L， 氟橡胶， PTFE， 电磁不锈钢 |
金属密封：SUS316L， Ni， PTFE， 电磁不锈钢 |
全金属密封：SUS316L， Ni， 电磁不锈钢 |
表面处理 | ≤5RA |
重量 | appr. 0.8 KG |
电气参数
模拟设定电压 | DC 0-5V |
模拟输出电压 | DC 0-5V |
电源 | ±15VDC | +15VDC ±2% 25mA |
-15VDC ±2% 180mA |
+12VDC-+32VDC | +12VDC 500mA - +32VDC 180mA |
功耗 | ±15VDC | 3.1W |
+12VDC- +32VDC | 6W |
模拟接口 | 9Pin D-sub Male |
数字接口 | 6-Pin RJ-11 * 2 |
Acequip 微小流量（2SCCM）质量流量控制器 MFC/MFM
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Acequip 微小流量（2SCCM）质量流量控制器 MFC/MFM
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Acequip 微小流量（2SCCM）质量流量控制器 MFC/MFM
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Acequip 带显示数字型（RS-485）质量流量控制器 MFC/MFM
A2-FCRRNCS/A2-FCRRVCS/A2-FMRRNS/A2-FMRRVS
