产品描述
一款紧凑型数字(RS-485)质量流量控制器产品，采用高精度流量传感器，确保精度范围在±1%S.P.（设定值）。
特征
结构紧凑，减少了成本以及空间的使用。
控制电源：宽电压（+12~+24VDC）。
RS-485数字通讯接口，同时支持ASCII通讯协议和Modbus RTU协议。
泄露率：Max 1x10-9Pa.m3/sec (He)
性能参数
型号 | M1 |
满量程流量可选 (N2 换算) | 3 SCCM – 5 SLM |
响应时间 | ≤ 0.8 秒 |
精度 | ≥25% F.S. ：≤±1% S.P. |
＜25% F.S. ：≤± 0.25% F.S. |
线性 | ≤ 满量程流量的±0.5% |
重复性 | ≤ 满量程的±0.1% |
工作压差 | 3 SCCM – 5 SLM：0.05 - 0.28 MPa |
泄漏率 | Max 1x10-9Pa.m3/sec (He) |
控制范围 | 单一气体：满量程的 2-100% F.S. |
Max操作压差 | 0.48 MPa |
Max耐压 | 1 MPa |
使用温度 | 5-45 Deg C |
机械配置
阀门类型 | 常闭/常开 电磁阀 |
接头 | 1/4"VCR or 1/4" Swagelok 兼容 |
密封类型 | 橡胶密封 |
安装方向 | 任意 |
材料 | SUS316L， 氟橡胶， PTFE， 电磁不锈钢 |
表面处理 | ≤5RA |
重量 | appr. 0.8 KG |
电气参数
模拟设定电压 | DC 0-5V |
模拟输出电压 | DC 0-5V |
电源 | +12VDC-+24VDC | +12VDC 500mA - +24VDC 250mA |
功耗 | +12VDC- +24VDC | 6W |
数字接口 | RJ-45 |