产品描述
一款高温数字型质量流量控制器产品，气体流量控制的最高使用温度120℃，高纯金属密封件，卓越的性能和可靠性。
特征
使用温度80°C-120°C。
金属密封件，确保流路高度密封，防止外部污染。
RS-485数字通讯接口，同时支持ASCII通讯协议和Modbus RTU协议。
泄露率：Max 1x10-11Pa.m3/sec (He)
可配置选项：
低压差工作。
表面钝化处理
性能参数
型号 | A2 |
满量程流量可选 (N2 换算) | 2 SCCM – 5 SLM |
响应时间 | ≤ 3 秒 |
精度 | ≥25% F.S. ：≤±1% S.P. |
＜25% F.S. ：≤± 0.25% F.S. |
线性 | ≤ 满量程流量的±0.5% |
重复性 | ≤ 满量程的±0.2% |
工作压差 | 0.05 - 0.28 MPa |
泄漏率 | Max 1x10-11Pa.m3/sec (He) |
控制范围 | 单一气体：满量程的 2-100% F.S. |
Max操作压差 | 0.48 MPa |
Max耐压 | 1 MPa |
使用温度 | 80-120 Deg C |
机械配置
阀门类型 | 常闭/常开 电磁阀 |
接头 | 1/4"VCR or 1/4" Swagelok 兼容 |
密封类型 | 金属密封：镍 |
安装方向 | 任意 |
材料 | SUS316L， Ni，电磁不锈钢 |
表面处理 | 电解抛光，≤5RA |
重量 | appr. 1.2 KG |
电气参数
模拟设定电压 | DC 0-5V |
模拟输出电压 | DC 0-5V |
电源 | ±15VDC | +15VDC ±2% 25mA |
-15VDC ±2% 180mA |
+12VDC-+32VDC | +12VDC 500mA - +32VDC 180mA |
功耗 | ±15VDC | 3.1W |
+12VDC- +32VDC | 6W |
模拟接口 | 9Pin D-sub Male |
数字接口 | 6-Pin RJ-11 * 2 |
Acequip 高温型(80°C-120°C)质量流量控制器A2-FCTRNCH-E4V/A2-FCTRVCH-E4V (高温端)
Acequip 高温型(80°C-120°C)质量流量控制器A2-FCTRNCH-E4V/A2-FCTRVCH-E4V (常温外置端)
选型指南
Acequip 高温型(80°C-120°C)质量流量控制器A2-FCTRNCH/A2-FCTRVCH
