产品描述
一款高性能EtherCAT通讯质量流量控制器产品，符合SEMI标准。采用高精度流量传感器，确保精度范围在±1%S.P.（设定值）。
特征
可用流量满量程范围从2 sccm（毫升每分钟）至50 slpm（升每分钟）
可选全金属密封，IGS接头选项。
EtherCAT通讯。
金属密封泄露率：Max 1x10-11Pa.m3/sec (He)
性能参数
型号 | A2 |
满量程流量可选 (N2 换算) | 2 SCCM – 50 SLM |
响应时间 | ≤ 0.8 秒 |
精度 | ≥25% F.S. ：≤±1% S.P. |
＜25% F.S. ：≤± 0.25% F.S. |
线性 | ≤ 满量程流量的±0.5%（30SLM以上≤1%） |
重复性 | ≤ 满量程的±0.1% |
工作压差 | 2 SCCM – 5 SLM：0.05 - 0.28 MPa |
6 SLM – 50 SLM：0.1 – 0.28 MPa |
泄漏率 | 橡胶密封：Max 1x10-9Pa.m3/sec (He) |
金属密封：Max 1x10-11Pa.m3/sec (He) |
控制范围 | 单一气体：满量程的 2-100% F.S. |
Max操作压差 | 0.48 MPa |
Max耐压 | 1 MPa |
使用温度 | 5-45 Deg C |
机械配置
阀门类型 | 常闭/常开 电磁阀 |
接头 | 1/4"VCR or 1/4" Swagelok 兼容 |
密封类型 | 橡胶密封/金属密封 |
安装方向 | 任意 |
材料 | 橡胶密封：SUS316L， 氟橡胶， PTFE， 电磁不锈钢 |
金属密封：SUS316L， Ni， PTFE， 电磁不锈钢 |
全金属密封：SUS316L， Ni， 电磁不锈钢 |
表面处理 | ≤5RA (电解抛光) |
重量 | appr. 0.8 KG |
电气参数
数字通讯 | EtherCAT |
电源 | +12VDC-+32VDC | +12VDC 500mA - +32VDC 180mA |
功耗 | +12VDC- +32VDC | 6W |
数字接口 | M8 5Pin Male |
RJ45*2 |
Acequip 数字型（EtherCAT）质量流量控制器 MFC/MFM
A2-FCREWCS-E4V/A2-FCMEWCS-E4V/A2-FCTEWCS-E4V/A2-FCRECCS-E4V/A2-FCMECCS-E4V/A2-FCTECCS-E4V
Acequip 数字型（EtherCAT）质量流量控制器 MFC/MFM
A2-FCRECCS-IGW/A2-FCMECCS-IGW/A2-FCTECCS-IGW (IGS 1.125"W-SEAL)
Acequip 数字型（EtherCAT）质量流量控制器 MFC/MFM
A2-FCRECCS-E4V/A2-FCMECCS-E4V/A2-FCTECCS-E4V
